寻石新材料可供应 316L VIM+VAR(316LVV)超纯净不锈钢,用于通用、高纯以及超高纯半导体制造领域零部件。
冶炼工艺
VIM+VAR = 真空感应熔炼 + 真空电弧重熔
对 316L采用额外精炼工艺,目的是获得超高纯净度钢材,满足半导体制造等应用场景的要求。
附加化学成分要求
元素范围 —— 质量百分比(Wt %)
l 碳:最大值 0.030
l 硫:最大值 0.010
l 锰:最大值 1.5
l 铜:最大值 0.30
l 铌:最大值 0.05
l 铝:最大值 0.01
l 钙:最大值 0.02
l 钛:最大值 0.02
l 硒:最大值 0.02
相较于标准 316L不锈钢,低碳含量有助于提升焊接性能与耐腐蚀性。
表 2 最大 JK 夹杂物等级
类型 | 通用级 | 高纯级 | 超高纯级 | |||
细系 | 粗系 | 细系 | 粗系 | 细系 | 粗系 | |
A | 2.5 | 1.0 | 2.0 | 1.0 | 1.5 | 1.0 |
B | 2.5 | 1.0 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 |
C | 2.5 | 1.0 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 |
D | 2.5 | 1.0 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 |
注:JK 夹杂物评级:Thin = 细系,Heavy = 粗系;A/B/C/D 为四类夹杂物分型。
适用场景:高纯、超高纯化学品(气体或液体)输送系统
相关执行标准
l SEMI F20‑0706
l 德国材料牌号:1.4435
l EN 10277 class 3, surface
l EN 10308
主要应用
l 普通洁净室管件接头
l 阀门
l 超高纯压力传感器
l 金属超高纯密封件
l 焊接管件
可供应产品形态
l 圆棒
l 方棒
l 扁钢
l 锻件
l 挤压型材
l 板材
l 管材
如您有特殊规格需求,请与我们联系,本材料可按照客户定制技术要求供货。